半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體大多具有可燃性、自燃性、腐蝕性等特性，尤其是在晶圓廠制造車間中的廢氣流通常含有腐蝕性和VOCS有機廢氣等，在排放到大氣之前通過VOCs廢氣處理設(shè)備去除這些氣體。這需要在大多數(shù)半導(dǎo)體廠制造車間中使用專門用于管理和處理工藝廢氣流的設(shè)備。因此提出安全可靠的廢氣處理設(shè)備裝置以及RTO蓄熱式焚燒設(shè)備，能夠?qū)@些氣體進行有效處理。

1.塑膠廢氣來源 塑膠廠在成型、吸塑、壓塑、擠塑、注塑、吹塑等工藝流程會產(chǎn)生大量的混合型有機廢氣。所產(chǎn)生的廢氣大體可以分為塑料細顆粒物（塑膠煙塵）和揮發(fā)性有機氣體（VOCs）。這些廢氣對人體的健康有嚴重的危害，直接排入大氣中會影響周邊環(huán)境，造成大氣污染，因此需要對塑膠廠廢氣凈化處理后達標排放。